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第36章 EUV光源(第1页)

“我叫路阳,马路的路,阳光的阳!”

路阳脸上一直挂着微笑,没有一点几百亿企业老板的气场,反而更像高校里跟着教授跑腿的研究生。

介绍完自己,接着又说道:“半导体芯片直接决定着一个国家的科技展,不能被任何个人、企业把控,也不能被西方欧米势力卡住要害,华芯的目标便是要在5年内,让华国半导体芯片实现完全自主化研,在技术上实现全球第一。”

“我能为各位提供的就是资金保障,市场保障,以及落地应用方面的整合。”

廖锡昌也是第一次听到路阳的目标,老人轻轻点头,他是真的把路阳当成了自己的学生,华芯如今的成绩已经足够亮眼,但他从未在路阳身上现半点自满。

“说得好,路总!”专家组中有人说道。

“行了,还是叫他小路吧,华芯在申城松江那边的光刻机生产线计划投入5oo亿,从立项开始就是为了自主化研,中芯国际的情况不能再次出现,动不动就被别人禁这禁那的。”

廖锡昌说完又看向新来的4人,“四位都说说看吧,一下午的时间,应该了解得差不多了。”

柴文政年纪最大,率先开口:“廖老,各位前辈,路……,小路,大家好,在离子束抛光技术上,要想实现o.o2纳米的光滑级别,以现在长春光机所的设备还不够,需要从所里那边调配几台设备过来。”

“目前23所在o.1纳米抛光技术上已经有所突破,但是从o.1纳米到o.o2纳米,还需时间进行验证,专利部分不用担心,所里的设备拥有完整的专利壁垒。”

“我补充一点,光是设备还不够,只有结合镀膜技术才有机会突破1纳米,所里这方面的技术还没达到资料上的水平,好在资料的内容十分详细,完全掌握不会太久,廖老,这份资料的镀膜技术23所那边可以使用吗?”

丁冉补充说道,如果获得这份技术授权,23所也会受益匪浅。

廖锡昌开口道:“小丁啊,难就难在这点,你不光要掌握,还要加入自己的东西,才能使用。”

这样一解释丁冉明白过来,看来自己猜得不错,这份绝密的技术文件,应该就是来自路阳的公司,至于获取方式嘛,商业上的行为可就多了,她也懒得去追根问底。

“明白了,廖老,我大概有方向如何解决这个问题,只是所花费的时间会比原来长些,可能还得从所里把我们两人的助手要过来。”

23所这边一个下午时间,便有了大概的方向,实力果然强啊,路阳心里这样想着,不由看向大连光源那边。

周宇跟纪益玲是在座的众人中除了路阳外年纪最小的,说话非常客气,“各位领导,我跟益玲正巧是研究紫外光的,方向也确实在光刻机的应用上。”

光刻机分为紫外光源(uV)、深紫外光源(duV)、极紫外光源(euV)。

最早的光刻机光源为汞灯产生的紫外光源(uV),之后业内开始采用准分子激光的深紫外光源(duV),将波长进一步缩小到arF的193nm,后来逐步展为arF加浸入技术成为主流。

euV光刻技术不使用用arF加浸入技术,而是将二氧化碳激光照射在液态金属锡上,激出13.5nm的光子,作为光刻机光源。

周宇先简要介绍了下光刻机的两种光源,接着又说道:

“euV光源由光的产生、光的收集、光谱的纯化与均匀化三大单元组成。相关的工作元器件主要包括大功率co2激光器、多层涂层镜、负载、光收集器、掩膜板、投影光学系(xe或sn)形成等离子体,等离子体利用多层膜反射镜多次反射净化能谱,最终获得13.5nm的euV光。”

“资料中光的产生是激光等离子体光源(Lpp),目前只有两家公司能够生产:一家是米国的cymer,另外一家是日本的gigaphoton。大连光源也有能产生离子体光源的激光器,但现在我们这边最先进的激光器所产生的光源功率还不够,就算镜片研制成功,多次反射后也只剩下2%的光能,所以对光源功率要求极高。”

纪益玲继续翻看资料,“各位领导,结合资料中的技术来改进我们的激光器,可以达到要求,现在镜片还没生产出来,我们只能按资料里的数字要求来做,不过得回到大连光源那边才能改进。”

“另外在光的纯化与均匀化方面,激光器里面出来的光虽然纯度足够,但不均匀,这样投射到晶圆上会造成各个地方的cd不一致,必须加入反射,资料中使用的是一种特殊的玻璃长方体来完成均匀化。”

白学礼教授作为长春光机所的技术负责人,对两人所说非常清楚,“小周、小纪,光源及照明系统的整体设计由我们这边来完成,你们主要负责光源部分,相信这些资料能给大连光源带来启,但是中间的配合,分隔两地效率太低了。”

说完白学礼看向廖锡昌,意思再明显不过。

廖锡昌思索片刻,“我会跟大连光源这边联系,把你们所需的东西搬过来,还是那句话,你俩得保障,一旦市场化,其中的技术一定要能绕开资料里的专利。”

两人纷纷点头,无条件配合,来之前大连光源的领导可是再三强调过的。

“老白,你看这样,先按资料中的技术,把框架搭起来,能替代的先替代,不能替代的想办法购买,或者从其他地方调过来,但是框架必须有7o%以上的设备到位,还要能运行起来,你预估这要花多长时间?”

白学礼想了下,“我列个清单,还需要的设备你去想办法,时间取决于设备弄到的时间。”

路阳却在沉思,大连光源是国家重大科技基础设施,能不能趁这次机会,放出部分技术,成为华国的光源提供商,这个事情得推进下,华芯与大连光源联合成立新的公司,这样方便以后的市场化。

特么,果然又要开支线!

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