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第35章 长春光机所(第1页)

离子束抛光属于原子量级上的无应力、非接触式抛光。

从基本原理上来理解,就是在真空状态下,利用具有一定能量的惰性气体离子,比如氩气离子,去轰击工件表面,通过物理溅射效应去除表面材料。

蔡司利用离子束抛光技术制作了离子束抛光装置,这属于他们的机密产品买不到,其中还需建立多层膜,可以降低晶粒扩散时的反射率,从而打造更小的粗糙度,硬生生把这项技术推向了物理极限,能打破物理极限的东西可能只有魔法了。

看着在长春光机所忙碌的专家们,路阳帮不了忙,他也试过了触摸各种设备,没任何反应,原因应该是这一套设备没有形成固定的生产线,还处于研究阶段。

廖老带着人从工作间出来,对路阳说道:“走吧,出去接人。”

来到大门外,只见两台黑色商务车上下来4个人,其中两名看起来比较年轻的魁梧壮汉戴着墨镜,蓝牙耳机,路阳猜测应该是保镖。

另外两人年纪都在5o岁左右,一男一女,都戴着眼镜,皮肤粗糙,穿着普通的休闲外套。

“廖老,您好,我们是23所的,奉命来提供研究协作。”

开口的男人个头挺拔,声音苍劲有力,一看站姿便知是部队出身。

“你好,我就是廖锡昌,感谢两位,不知怎么称呼?”

男人笑道:“我叫柴文政,她叫丁冉。”

女人上前打招呼:“廖院士您好!”

“走吧,我们边走边说。”

从大门到工作间有3分钟路程,廖锡昌向两人介绍了基本情况,两位黑衣保镖检查完工作间后守在门外。

柴文政也是临时接到上级的命令,来之前并不清楚具体是做什么的,只知道对方需要离子束技术方面的帮助,原以为会很简单,毕竟这个领域,23所是最强的,并被授权可以开放技术。

“离子束抛光技术吗?与我们的方向有重合,但又不完全一样。”柴文政说道,拿起廖老给他的资料。

丁冉翻了几页技术资料,皱眉说道:“不光抛光技术,还设计到多重镀膜,廖老您这边需要我们怎么配合。”

廖锡昌也没藏着,“第一,协助我们把资料上这些技术实现,第二,在离子束抛光方面是否能利用23所的技术完成替代,绕开专利。”

资料上并未标注来源,仅仅只是镜片制造工艺,柴文政忽然说道:“我们这是打算造euV光刻机?”

这么点资料,能快判断出最终目的,一旁的路阳表示佩服,看来又是做捧哏的一天。

廖锡昌点点头,“长春光机所这边负责光学系统,镜片与镜头组装,镜片用来实现13.5纳米极紫外光源的可利用性。”

“极紫外光太容易被吸收了,连空气都能把它完全吸收,必须在真空环境才可以实现反射。”丁冉边看资料边说。

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