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待几人都回去休息,路阳独自在工作间呆,表面上看,现在已经取得了不小的进展,但真正涉及顶尖技术的项目,还未正式展开。
euV镜头以及镜片组的制造,主要是四个方面,
材料方面:euV反射镜需要使用特殊的材料,例如钼、铥等元素的多层膜结构,这些材料需要具有很高的纯度和均匀性。钼跟铥华国都是产能大户,长春光机所不可能缺,核心材料氧化硅更不是问题。
设备方面:需要使用高精度的设备进行制造,例如电子束物理气相沉积设备、磁控溅射设备等,这些设备需要满足高真空环境、高温、高能量等特殊要求,跟蔡司那样的百年企业相比,这方面出问题的可能性最大。
工艺控制方面:制造需要精密的工艺控制,例如多层膜的厚度控制、表面平整度控制等,这些控制需要使用高端的工艺控制技术和仪器设备。
检测技术方面:euV反射镜的质量检测需要使用高精度的检测设备和技术,例如原子力显微镜(aFm)、x射线反射分析仪(xRR)等,这些设备需要具有很高的分辨率和灵敏度。
“工艺控制技术应该是最大的问题,其次环境问题,最后才是检测方面,长春光机所的设备制造间并非净间,理论上也不需要达到净的级别,短期内无法改造。”路阳喃喃自语。
通常医院或者一些生物实验室的无尘环境,可以归为净室,净间就是比这些普通净室干净万倍的空间,有一整套严格的控制标准,暂时不做更多赘述。
作为曾经的专业视频博主,路阳对专业相机镜头不陌生,他现在总算明白,为什么国内从来没有山寨机了,镜头制作实在太难,更何况是直径如此大的镜头组。
路阳翻看了下桌面的这些文件,大部分都看不懂,一堆数学公式更是让他头晕目眩,竟然在工作间睡了过去。
门外嘈杂的声音将他吵醒,一看窗外,已是晚上,一些工人往里搬运设备。
这应该就是采购的最后一批设备了,睡了几小时,路阳精神恢复了许多,来到室外,见白学礼正在指挥工人,嘴里大声喊道:“都小心些,轻拿轻放,这些东西可不能有任何损坏。”
回头又对助手说道:“组织人开箱检查设备,把说明书都翻译出来,明早进行安装调试。”
路阳来到白学礼身边,“白教授,您怎么又回来了?”
“没事,睡了3个小时,最后一批设备,不过来看看我不放心,对了,小路,听说申城的生产线计划是1o条?”
“是的,duV跟euV原定都是5条,具体的看进度了。”
休息了一下午,白学礼终于恢复成路阳第一次见到的自信模样。
“哈哈,压力又来到我们这边了,不过我坚信我们一定能造出euV的。”
“白教授,怎么没见小组的其他老师呢?”昨天回来路阳就现这个问题了。
白学礼笑道:“我让他们带着问题回去搬救兵了,明天都会回来,加工车间没搞定,他们留下来也没用。”
说完又点了支烟,“是我这边着急了,23所的两位教授这两天信心被打击得可不小,不过我相信很快便能恢复了,毕竟来自那里!”
路阳好奇问道:“那里有什么神秘之处吗?”,旋即又想起那边是保密单位,下意识又补充道:“我只是有点好奇,如果涉及保密就不用跟我说了。”
“23所是钱老指定设置的研究机构!”
路阳呆立当场。
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