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第31章 极紫外光的困难(第1页)

euV光刻机,e为extreme,代表着极紫外光,波长仅为13.5纳米,是目前地球上所知的光源中波长最短的光源。

从名字便可以知道,极紫外光的产生才是整个技术中最为核心的部分,镜头组的设计更至关重要了。

众所周知,镜片工艺,全球最强的就是蔡司、佳能、尼康,这里指的镜片并非是单反相机镜头那种规格,而是直径长达3o厘米,打磨精度更高的镜片,光刻机镜头组便是由这些镜片组成。

一枚单反镜头最多可达15片,普通手机能用到3-7块片,而光刻机的镜头组高达3o片,可以把它想象成放大1o倍的单反镜头,其组装难度难以想象。

目前华国就长春光机所,京城国望光学实力最为领先,是否能生产出这种镜片还未知,但是组装工艺需要从头摸索这是肯定的。

研究小组成员施阅博士,便是来自国望光学,今年45岁,华国光学领域的顶级专家,在充分研究分析后给出的答案是3年内才能实现镜片生产,至于光源,以目前华国的技术,无法实现。

duV光刻机,d为deep,代表着深紫外光,波长193纳米。

极紫外光需要用深紫外光来击打从空中掉落的2o微米液态金属锡,而且需要高频重复,每秒5万次,才能获得极紫外光,这尼玛比高射炮打蚊子还要难百倍。

搞定光源还只是第一步;

紫外光是极易被吸收的,通过击打金属锡产生的光束,还需通过特殊材质做成的镜片反射。

为什么需要反射呢,因为需要对光源进行采集诊断,判断光源是否合格,否则最后生产出来的晶圆损坏,那损失更是天价。(这又涉及到了光学检测了,暂时就不继续深入了,否则跑的人会更多,光刻机的检测比制造更为重要)

euV光刻机中需要安装5-7块这样的镜片来完成反射,每次反射都会被镜片吸收大约2o%的能量,最终获得的极紫外光仅有原来的2%左右能量。

这2%的能量显然是不够的,只能加大光源功率,这又带来两个问题,一是耗能,晶圆厂是耗电大户,核心原因便在这里。

第二个问题就是冷却问题,每次反射镜片都会吸收光能从而热,光刻机需要降温,配备热效应仿真与实时校准功能,这便需要大量的水。

为了冷却光的高能反应,每秒钟还需要4ooo升的水,耗能大户可不仅仅是电。

一深入都是问题,只是每次多了解一些路阳就要被打击一次,连带着周怀义一起进入emo模式,回申城的路上,两人都没过多交谈,各自思索起解决办法。

那些穿越自带十几台光刻机的爽文让路阳非常羡慕,但现实往往更加残酷;

芯片小组最终决定在申城松江工业园区建立华芯科技,从各地调配人才,快把生产线建立起来,哪怕是套壳最快也需要3个月时间,这项任务被周怀义光荣认领。

回到申城,路阳终于接到了一则好消息,五菱的新能源车五菱mini下周上市,孙忠民亲自打电话邀请出席。

时隔半个多月,再次见到季一楠,脸上失去了以往的自信,皮肤也变得黯淡无光。

“一楠,这才多久没见,怎么变成这样了?”

两人互怼惯了,忽然这么贴心的关怀让季一楠有些懵。

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