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第74章 纳米光刻机二(第2页)

廖老看向路阳,眼神中带着欣慰与鼓励,这种重要的时刻,他选择交给路阳,微微点了下头。

“开机!”简单的两个字,用尽了路阳全身的力量。

随着光刻机上指示灯亮起,次流片开始,使用的是苏硅自主研生产的12英寸硅片,实验目标要求也不高,只要能光刻成功便算圆满,至于良品率什么的都无需考虑。

净室外站着的众人都开始紧张起来,焦急的等待着结果,如果设备正常,雕刻一片晶圆所花的时间还不到2秒,1oo片也就2o分钟左右。

然而这短短的2o分钟对于路阳来说却非常漫长,他甚至能听到自己心跳的声音,双眼盯着净室内的操作人员,生怕忽然间设备停止。

当工作人员从设备中拿出第一片雕刻好的晶圆时,众人都松了口气,路阳对检测结果并不看好。

“叮!”

终于听见了久违的声音。

“检测到镜头组错误…”

“检测到工件台不匹配…”

“检测到净室参数不达标…”

系统一口气给出了几十项错误提示。

当检测人员拿着晶圆走出车间时,路阳悄悄来到入口处换好衣服。

廖老视线并未停留在路阳身上,注意力却一直跟着路阳。

没过多久他便现净室内多了一名工作人员,看身材廖老便知道那是路阳。

触摸机柜的双手略微颤抖,路阳沿着光刻机绕了一圈,随后又继续触摸生产线上的每台设备。

与此同时,净室外的众人视线都集中在检查人员手上。

这次流片目标一步到位,选择的是7纳米手机芯片,设计是华微这边独立完成的。

“良品率,o!”

检察员一句话把所有人拖入谷底,结果在众人预料之内,但心中仍有一丝希望。

希望之火被无情浇灭。

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