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门外响起众人哗然的声音,正是廖老跟白学礼到了。
能看出廖老的精神状态非常好,哪怕是刚从长春赶来的白学礼也是满脸笑容。
“都坐吧,大连光源已经可以制造25k放电泵浦极紫外光源,大家应该都知道了吧,这是我们小组取得的又一重大技术突破,今天把大家叫过来,一是分享这个好消息,另一个目的就是激光系统的设计进度。”
也许是好消息的刺激,路阳感觉廖老的声音比平时更加洪亮有力。
“这套激光系统主要解决的就是制造持续的13.5纳米极紫外光,每秒5万次击打,这需要有适配的数学模型,还需要精密的控制设备,计算组那边已经向上面申请神威·太湖之光协助计算,另外数学模型设计方面,在华科院的全力协助下,完成了十几个适配的数学模型,等算计算后再做最后的选择。”
神威·太湖之光,华国性能排名第一的级计算机,位于华国无锡。
没想到光刻机的制造连算都用上了,这再一次刷新了路阳的认知。
“廖老,关于光学系统,我们这边有个想法。”
众人纷纷看向柴文政,廖老也投过来诧异的目光,计划中他们这边需要等到实验机组装完成后才能开展试验,现在只能通过小程序设计光路布置。
柴文政把刚刚跟路阳商议的方案介绍了一遍,刚说完想法。
白学礼的声音便响起:“这个方案不错,再多的设计没有实验支持都不可靠,镜片的实际参数也需要测试后才能最终准确,资料中的参数也不一定都对。”
廖老低头沉思,他需要思考的是整体进度问题,实验机的组装最快也要到春节后,这一个多月的时间不能浪费。
“说说看你们对实验的想法。”
丁冉说道:“廖老,我们只需要打造封闭的真空空间,用镜片做简易的光路布置,加入实施监测系统,最后再使用激光器制造193纳米的深紫外光击打液太金属锡即可。”
廖老继续问道:“你们有没考虑过,光源多次反射后最后的承载工具,还得加入工作台与硅片才行,这其实已经是再次简化版的光刻机了,这个实验空间需要花多少时间?”
柴文政回答道:“实验可以实现三个目标,一是对镜片的反射与吸收数据做收集,第二是光路布置的可行性判断,最后是抵达工作台的极紫外光是否可用,至于需要多久才能建好,还需详细的方案。”
显然这个方案是能加快整个进度的,廖老并未反对,当即在会上展开了落地细节的各项讨论。
最后通过一早上的讨论,廖老同意了该方案,并由柴文政负责,其他人全力配合。
会后路阳来到廖老办公室,向两人汇报了海思那边的进度。
“等镜片到位我跟你去看看吧!得加快进度了,西方可能要提前动手了,不是元旦就是春节过后。”
路阳心惊,蝴蝶效应果然还是不可避免啊!
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