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专利的判定方式非常复杂,这里就不再赘述,都是浸润式技术,其中的一些核心改动后是可以规避掉的。
今天廖老拿出的资料中就有改动后的浸润式技术,这耗费了申城微电子将近2个月的时间。
会议室内一片安静,海思团队的人都在认真看着资料。
温天洋作为海思的技术总监,越看越是心惊,无论是duV还是euV原理早已是公开的信息,其中的技术细节都只是知道名字而已,难怪总部会下这么大的决心,华芯这边的技术力量实在太强了。
“廖老,冒昧问一下,申城微电子这边现在已经使用了这套浸润式技术了吗?”
廖锡昌回答道:“已经进入调试阶段,距离实验流片还有一段时间,不过一旦那边成功,华芯这边可以直接使用。”
何洪年一怔,申城微电子与华芯的关系不简单啊,实际上两家的关系从12纳米硅片技术转让开始后,早已密不可分,申城微电子那边获得了苏硅cmp技术,改进的duV光刻机技术。
上面也有意无意的让申城微电子成为打在明面上的一张牌,至于华芯,现在业内不清楚的人还在认为那是另一个“汉芯”或者“龙芯”,前者骗局,后者多年未曾落地。
何洪年继续问道:“这上面没并有详细的镜片工艺,我是不是可以这样理解,这块已经解决,只剩下组装问题。”
他是知道廖老在负责euV光刻机研的,以euV对镜片工艺那种变态的要求,如果镜片工艺没有突破,根本就进不到下一步。
廖老点点头,并没多说,何洪年内心一喜,得到了他想要的答案。
“廖老,现在镜片的工艺到什么级别?没有对应的参数标准的话,我们在设计上不好预估。”一名光学方面的总工问道。
这就是路阳一直担心的问题,如果不告诉海思一些核心的数据,他们的研便没有了基础。
好在廖老早有准备,“这方面你们不用担心,由于保密关系,工艺级别我不能告诉你们,但你们可以参考asmL最先进的duV镜片工艺来设计,华芯这边保证做出对应级别的镜片即可。”
好家伙,海思众人被这句话深深震撼,只要他们提要求,就一定能做出来,华芯虽然成立时间短,技术方面是真的深不见底啊。
终于有人提到了最重要的问题,“廖老,资料上提到了双工件台的技术,我想问现在成熟了吗?”
“华卓工件的朱易教授过几天会加入到我们的研团队中,我想在这次的升级中,直接加入双工件台技术!”
路阳还是第一次开口,众人不会再小看眼前的年轻人,就凭他们手上拿着的资料,无人再怀疑华芯的决心与实力。
“这么说路总是倾向于28纳米精度了?”何洪年问道。
45还是28,这是个问题?
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