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华微旗下的企业几十家,关系网络不是现在的华芯能够比拟的。
倪雅南还沉浸在刚才刘永锐的话语暗示中,忽然回过神来,思索几秒后说道,
“只是这三样生产线设备的话,问题不大,想想办法应该可以搞到,不过也得分散采购。”
路阳趁热打铁,“最好在年前运回国内,这事就拜托你们了。”
再过几天,那件大事就要生,届时华微可就不一定能分出精力来帮忙了,必须在11月底前把事情定下来。
倪雅南见路阳亲自开口,也不好推脱,“路总放心,这事我亲自盯。”
“回头我让华荣的负责人联系你,资金由那边出!”
路阳这样安排也是有意让胡稚对接上华微,也许在其他方面也可以用下华微的采购渠道,以胡稚的精明,不用他打招呼那边都能明白。
几人又把事情的大致时间节点确认,详细的进度表这些交给何洪年去做。
第二次与华微的接触,双方都获得了想要的东西,晚餐自然是其乐融融。
回到公寓,路阳简单洗漱后,在电脑上查看duV光刻机镜头的组装工艺以及相关教程。
光刻需要让紫外光经过掩膜版,把图案精确的聚集到基片上。
对高精度的光刻,图案的畸变要求小于几nm甚至1nm。
为了补偿畸变,需要对透镜或者反射镜精确调节,以前是对透镜或者反射镜的微元进行调节,现在比较先进的方法,对透镜或者反射镜进行温度控制来调节光路,最常见的一种做法是LeLe(1itho-etch-1itho-etch)。
简单讲,就是做两次光刻,把掩模板的位置错开。
相邻的金属线如果做在同一层光掩膜版上,彼此之间就不能做的很近,但如果相邻金属线做在两层不同的光掩模版上的话,彼此之间就可以非常靠近。
这样,只需要把靠近的金属分布在两层不同的光掩模板上,就可以达到想要的效果。
另一种sadp(自对准双重成像技术)。
先通过较低精度的光刻,做出突起的光刻胶保护层(mandre1)。
再在“mandre1”的表面和侧面沉积一层厚度相对比较均匀的薄膜垫片,使用离子刻蚀工艺把沉积的垫片材料再刻蚀掉。由于“mandre1”侧壁的几何效应,沉积在图形两侧的晶圆材料会残留下来。垫片图形的间距是”mandre1”间距的一半,从而实现了空间图形密度的倍增。
理论上来说45纳米精度的duV光刻机可以通过两次曝光生产7纳米制程的芯片,28纳米精度的duV光刻机单次曝光就可以实现,无论是哪种方案,都需要研人员的评估。
这方面路阳可以说是门外汉,但有廖老把关,只要设备能正常运行起来,无论结果如何,系统这边应该都会给出优化方案。
这便是路阳的计划,尽快让设备动起来,让系统去纠错,而且系统给的优化方案,在技术上会更先进。
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