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光刻机的原理并不复杂,就跟我们的投影一样,就是放大。
光如何放大呢,就是造一个放大的透光的膜子,然后把想要的形状印在膜子上,然后通过模子照射在硅片上,但就是这么句简单的概括,却代表着人类最先进的智慧。
光刻机的三要素:
1.光源及照明系统,负责出均匀可调的,去相干的紫外光照在光掩膜上,也就是上面说的膜子。
2.物镜及成像系统,负责把光掩膜上的图像尽量无损的投射在硅片上。
3.工件台移动及测控系统,负责对准调平,精密定位,接送硅片。
归纳下来就是需要有光源,这被米国垄断,二是需要镜头,这被德国跟日本垄断,三是需要工作台也就是控制系统,这被荷兰asmL垄断。
三人开始进入更精密的制造车间,换上洁净服,带上手套,路阳看到一台正在组装的光刻机,慢慢靠近。
如果任滢滢在现场,立刻能猜到要生的事,果然路阳也不管设备多精密,开始用手抚摸光刻机的外壳。
带队的人立刻制止:“住手,这里的东西都不能触碰。”
就知道如此,路阳赶紧道歉,眼里有泪水流出,对方见他都哭了,也不好继续责备。
季一楠安慰道,“路阳,虽然我也很激动,但也用不着哭吧。”
周怀义也没想到路阳的反应这么大,看来光刻机是路阳心中的执念,心中更加坚定。
却不知,路阳感动的是就刚才那几秒的时间,他终于点亮了光刻机的科技树,位于树苗的正中间,9o纳米duV光刻机制造技术。
天见尤怜啊,也许是难度太大,系统在这刻意给他放水了,点亮的不是目录,而是内容。
9o纳米duV光刻机制造技术:生产线、镜头模组、光源制造、控制系统几十项内容。
路阳忽然有了主意,如果自己去荷兰asmL参观,也摸下他们的产品,是否也可以点亮呢,不行,这个行程必须要走,如果没记错的话,euV光刻机今年开始设计生产,2o19年开始交付。
但现在新的问题出现了,如何把这些技术拿出来才不会让人怀疑,再想想办法吧,都到了这步,就算被知道了又能如何呢?
关键是现在要如何验证,系统给的内容能否绕过现有的专利技术,否则也只是白搭。
路阳决定闭关几天,先把内容整理出来再说,好在大脑里的科技树内容并不会消失,但是要还原一些图纸之类的,这一切太耗时间了,这狗系统就不能再智能化些吗?
给自己套个ifi什么的,传到电脑上直接打印出来啊。
回来的路上,季一楠忽然大叫一声,“我想到办法了!”
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